氦離子檢測器應用原理

　　一、脈沖放電氦離子化檢測器(PDHID)是一種靈敏度高的通用型檢測器，對幾乎所有無機和有機化合物均有很高的響應，特別適合高純氣體的分析，是能夠檢測至ng/g(ppb)級的檢測器。
 

　　二、隨著國民經濟的快速發展，氣體工業特別是高純和超高純氣體以及電子用氣體行業也蓬勃發展。氣體中痕量雜質的檢測是生產高純氣體和電子工業用氣的關鍵環節，而這些氣體中微量雜質的分析一直是色譜分析的難點，原有的熱導等色譜檢測器均無法滿足高純氣體分析的要求。
 

　　三、技術原理：
 

　　1、脈沖放電間隔和功率：
 

　　PDHID中放電電極距離為1.6mm，改變充電時間可改變經過初級線圈的放電功率。因放電時間僅為1μs，而脈沖周期達幾百微秒，絕大部分時間放電電極是空載。
 

　　2、偏電壓：
 

　　在放電區相鄰的電極上加一恒定的負偏電壓。響應值隨偏電壓的增加而急劇增大，很快即達飽和。PDHID在飽和區內工作，噪聲較低。
 

　　3、通過放電區的氦流速：
 

　　保持放電區的潔凈，以便氦被激發；它作為尾吹氣加入，以減少被測組分在檢測器的滯留時間。
 

　　4、電離方式和性能特征：
 

　　氦中放電發射出13.5-17.7eV的連續輻射光進行光電離；被高壓脈沖加速的電子直接電離組分AB，產生信號，或直接電離載氣和雜質產生基流；亞穩態氦與組分反應電離產生信號，或與雜質反應電離產生基流。